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潔凈室工程
發(fā)表于：2018-08-09 10:01 分享至：
 

潔凈室工程是凈化工程的重要組成部分

潔凈室標準

ISO 14644-1 and ISO 14698 
 

Class 最大顆粒/m3a FED STD 209E
equivalent
≥0.1 µm ≥0.2 µm ≥0.3 µm ≥0.5 µm ≥1 µm ≥5 µm
ISO 1 10b d d d d e  
ISO 2 100 24b 10b d d e  
ISO 3 1,000 237 102 35b d e Class 1
ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 83b e Class 10
ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 d,e,f Class 100
ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293 Class 1,000
ISO 7 c c c 352,000 83,200 2,930 Class 10,000
ISO 8 c c c 3,520,000 832,000 29,300 Class 100,000
ISO 9 c c c 35,200,000 8,320,000 293,000 Room air
a 表中所有濃度累積,例如ISO 5級(0)3所示的10 200個粒子μm包括所有粒子等于和大于這個尺寸.
b這些濃度會導(dǎo)致大量的空氣樣本進行分類?？刹捎庙樞虺闃臃?見附件D.

c 濃度限制不適用于表的這個區(qū)域，因為顆粒濃度非常高.
d 低濃度顆粒的取樣和統(tǒng)計會導(dǎo)致分類不準.
e對于低濃度和大于1μm的兩種顆粒的樣品收集限制，由于取樣系統(tǒng)中潛在的顆粒損失，使得這種顆粒尺寸的分類不合適。.
f 為了與ISO類5相關(guān)聯(lián)地指定該顆粒尺寸，可將宏描述符M與至少一個其它顆粒尺寸相適應(yīng)并使用。